給出了高壓 串聯諧振 電源系統框圖。本電源是為材料表面處理設備研制的。它包括:三相AC/DC變換器、電壓型半橋串聯諧振逆變器、超音頻升壓變壓器和負載。超音頻變壓器用于負載阻抗匹配,逆變器選用IGBT模塊,工作頻率約為20kHz。系統工作時,呈現小感性,為零電流導通。對于感性負載,在一個工作周期中,功率器件導通的順序是二極管在先,IGBT在后,這就保證了IGBT在零電流前提下導通(ZCSON),導通后電流上升速度受到諧振電路的限制,因此,IGBT的開通損耗很小。另外如圖下圖所示,IGBT的吸收電容Cr1和Cr2的接入,限制了IGBT關斷時的電壓上升率,減小了關斷損耗。
