采集單元通過三通安裝于斷路器氣體監測口或原密度繼電器補氣口。安裝時，采集單元首先應安裝在選定的三通上。
1、 采集單元的安裝
檢查采集單元接口、三通測氣口和擬使用的密封圈是否潔凈無損；（氣口表面光潔度、清潔度以及密封圈是否完好無損以及是否嚴格按照安裝工藝要求進行操作，決定著安裝的成敗。）
將密封圈安放在三通測氣口的密封圈槽內。密封圈在安放前須涂抹適量的真空硅脂；
將采集單元旋入三通測氣口,扳手必須置于采集器底部的扳口處。
2、抽真空。安裝微水綜合采集單元時必須事先抽真空。方法如下：
（1）選擇合適的真空泵（含管路和壓力表）抽真空；
（2）將三通的補氣口端接入真空泵；
（3）接通真空泵電源，開始抽真空，待真空度低于30 Pa后繼續抽30分鐘；
（4）上述抽真空程序反復3-5次，每次間隔15-20分鐘；
（5）將三通與氣室對應的接口接入氣室。
3、檢漏
采集單元正式接入氣室后1分鐘，關閉三通上的針型閥。然后對采集單元及三通各連接處進行密封性檢查，尤其是三通與斷路器氣體監測口、三通與監控儀連接處應嚴格檢漏，發現有漏氣時應拆下，檢查原因，在排除問題后重新安裝，并再次檢漏，確保密封性完好。
4、 采集單元殘留水分的處理
在完成抽真空和檢漏之后，采集單元和三通內部可能還會殘留微量水分，此時可將高精度露點儀接入三通的補氣口,打開三通上的針型閥開始檢測殘留水分的含量,若微水值明顯高于氣室內的微水值則應對監控儀和三通再次進行抽真空和檢漏處理直到其微水值穩定不再上升為止。
5、采集單元與被檢測設備內部氣體的動態平衡
采集單元正式接入氣室后，由于氣室內SF6氣體需與新接設備空腔內的氣體逐步達到動態平衡，采集單元內的微水值將出現一個先上升后下降的變化曲線，并緩慢降低至氣室內SF6氣體的微水值。正常情況下，動態平衡的時間約需2-15天左右。
顯示值最終達到實際測定值的時間長短由以下因素決定：
（1）三通與氣室連接管路長短和管路通徑。管路越長，通徑越小，動態平衡的時間就越長；
（2）采集單元在安裝前是否長時間暴露在空氣中，暴露的時間越長，空氣濕度越大，動態平衡的時間就越長；
（3）真空泵及其管路閥門漏氣，抽真空未按上述方法和先后次序進行，動態平衡的時間就越長；
（4）三通和連接管路有微漏。
